Theo Đại Nam Thực Lục, vào năm 1570, khi chúa Tiên Nguyễn Hoàng được lệnh kiêm lãnh hai xứ Thuận Hóa và Quảng Nam, xứ Thuận Hóa gồm 2 phủ 9 huyện 3 châu.[4]

Phủ Triệu Phong

Gồm 6 huyện, 2 châu:

• Huyện Quảng Điền (xưa là huyện Đan Điền)
• Huyện Hương Trà (xưa là huyện Kim Trà)
• Huyện Phú Vang (xưa là huyện Tư Vang)
• Huyện Hải Lăng
• Huyện Võ Xương
• Huyện Điện Bàn
• Châu Thuận Bình
• Châu Sa Bôi

Phủ Tiên Bình (xưa là phủ Tân Bình)

Theo Đồng Khánh Địa Dư Chí, đời Lê Trung Hưng đầu niên hiệu Hoằng Định (1601), do kiêng húy chữ Tân trong tên vua Kính Tông Lê Duy Tân, đổi tên phủ Tân Bình thành phủ Tiên Bình.[5]

Gồm 3 huyện và 1 châu:

• Huyện Khang Lộc
• Huyện Lệ Thủy
• Huyện Minh Linh (xưa là châu Minh Linh)
• Châu Bố Chính